天准半导体红外测量系统在全球处于头部地位。系统将高性能红外相机与设计优化的红外光学结合,提供具备出色分辨率和对比度的图像,实现基板的顶部、底部和内部结构的有效测量。

主要特点

设计优化的整套红外光学系统,红外波长最高支持1500nm

支持定制适用于不同产品的自动化搬运方案 

可见光和红外光组合,反射光和透射光组合 

SECS/GEM

IRIS
主要特点

支持定制适用于不同产品的自动化搬运方案

可见光和红外光组合,反射光和透射光组合

SECS/GEM

长期维护成本低,稳定可靠

MT3000VIS/IR
主要特点

全自动测量

可见光和红外光组合,反射光和透射光组合

SECS/GEM

长期维护成本低,稳定可靠

MT2010VIS/IR
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